Skip to main content
Login | Suomeksi | På svenska | In English

CMS pixel module passivation by Atomic Layer Deposition (ALD) grown alumina

Show simple item record

dc.date.accessioned 2015-06-09T10:33:25Z und
dc.date.accessioned 2017-10-24T12:03:49Z
dc.date.available 2015-06-09T10:33:25Z und
dc.date.available 2017-10-24T12:03:49Z
dc.date.issued 2015-06-09T10:33:25Z
dc.identifier.uri http://radr.hulib.helsinki.fi/handle/10138.1/4766 und
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10138.1/4766
dc.title CMS pixel module passivation by Atomic Layer Deposition (ALD) grown alumina en
ethesis.discipline Physics en
ethesis.discipline Fysiikka fi
ethesis.discipline Fysik sv
ethesis.discipline.URI http://data.hulib.helsinki.fi/id/3434818f-62d6-4ad2-9c9b-7a86be9cf8e6
ethesis.department.URI http://data.hulib.helsinki.fi/id/3acb09b1-e6a2-4faa-b677-1a1b03285b66
ethesis.department Institutionen för fysik sv
ethesis.department Department of Physics en
ethesis.department Fysiikan laitos fi
ethesis.faculty Matematisk-naturvetenskapliga fakulteten sv
ethesis.faculty Matemaattis-luonnontieteellinen tiedekunta fi
ethesis.faculty Faculty of Science en
ethesis.faculty.URI http://data.hulib.helsinki.fi/id/8d59209f-6614-4edd-9744-1ebdaf1d13ca
ethesis.university.URI http://data.hulib.helsinki.fi/id/50ae46d8-7ba9-4821-877c-c994c78b0d97
ethesis.university Helsingfors universitet sv
ethesis.university University of Helsinki en
ethesis.university Helsingin yliopisto fi
dct.creator Pöyry, Outi Irene
dct.issued 2015
dct.language.ISO639-2 eng
dct.abstract In the upgraded CMS pixel detector (phase II upgrade), the pixel size will become smaller due to the higher occupancy caused by higher luminosity of the LHC. This means that also the bump bonds between the sensor and the read-out circuit will become smaller, which results in smaller gap between the sensor and the ROC. This will increase the probability for electrical sparking that might destroy the ROC, the sensor or both. Jaakko Härkönen has suggested using alumina passivation on the modules for sparking prevention. In this thesis it was studied whether bonding is applicable on a surface having an alumina passivation. It was also of interest, which parameters of the bonder make stronger bonds. Bonding was tested on metal pads with different layer thicknesses of alumina: 0 nm, 10 nm, 15 nm, 20 nm and 25 nm. The strengths of the bonds were tested using the bond pull test. The results indicate that wire-bonding on alumina does well in pull-strength tests, though the bonds are slightly weaker than on surfaces with no alumina. Increasing bonding force seems to weaken the bonds, increasing bonding power, on the other hand seems to make stronger bonds. The conclusion of this thesis is that alumina is a viable choice for passivation, since it does not seem to have a negative effect on the module wire bonding. en
dct.abstract Päivitetyssä CMS detektorissa korkeampi luminositeetti aiheuttaa suuremman hiukkasmäärän pinta-alaa kohden, joten myös pikseli-ilmaisimissa yksittäisten pikselien koko pienenee. Tämä tarkoittaa sitä, että myös sensorin ja ROCin välisten liitosnystyjen koko pienenee ja siten myös niiden välinen etäisyys pienenee. Tällöin sähköisen kipinöinnin todennäköisyys kasvaa, mikä voi tuhota sensorin, ROCin tai molemmat. Jaakko Härkönen on ehdottanut moduulien passivointia alumiinioksidilla kipinnöinnin ehkäisemiseksi. Tämä työ tutkii lankaliitosten lujuutta pinnoilla, joille on kasvatettu alumiinioksidikerros. Lisäksi työssä on etsitty bondauslaitteelle optimaalisia parametreja. Lankaliiitoksia kokeiltiin metallikontakeille, joilla oli eripaksuisia alumiinioksidikerroksia: 0 nm, 10 nm, 15 nm, 20 nm ja 25 nm. Liitosten lujuutta testattiin vetolujuustestillä. Tulokset viittaavat siihen, että lankaliitokset tarttuvat alumiinioksidipinnotteisille kontakteille, joskin kontaktit, joilla ei ole alumiiniioksidia antavat parempia tuloksia. Liitokseen käytetyn voiman nostaminen näyttäisi heikentävän liitosta ja tehon nostaminen vahvistavan sitä. Tutkielman johtopäätös on, että alumiinioksidi on realistinen vaihtoehto moduulin passivoinnille, sillä liitokset tarttuvan hyväksyttävästi myös alumiinioksidipinnotteiselle pinnalle. fi
dct.language en
ethesis.language.URI http://data.hulib.helsinki.fi/id/languages/eng
ethesis.language English en
ethesis.language englanti fi
ethesis.language engelska sv
ethesis.thesistype pro gradu-avhandlingar sv
ethesis.thesistype pro gradu -tutkielmat fi
ethesis.thesistype master's thesis en
ethesis.thesistype.URI http://data.hulib.helsinki.fi/id/thesistypes/mastersthesis
dct.identifier.urn URN:NBN:fi-fe2017112252495
dc.type.dcmitype Text

Files in this item

Files Size Format View
Poyry-Gradu-2015.pdf 4.313Mb PDF

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record